X射線熒光光譜儀有兩種基本類型:能量色散型X熒光光譜儀(EDXRF）和波長色散型X熒光光譜儀(WDXRF)。

首先來說能量和波長是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

能量色散型X熒光光譜儀（EDXRF），用X射線管產生原級X射線照射到樣品上，所產生的特征X射線（熒光）這節進入SI(LI)探測器，便可以據此進行定性分析和定量分析。
波長色散型X熒光光譜儀（WDXRF）是用晶體分光而后由探測器接受經過衍射的特征X射線信號。如果分光晶體和控測器做同步運動，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內各種元素所產生的特征X射線的波長及各個波長X射線的強度，可以據此進行特定分析和定量分析。其可以對復雜體進行多組同時鑒定，多用于地址勘探部門。

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 臺式X熒光光譜儀

能量色散型X熒光光譜儀 是將X射線激發被測所有元素的熒光簡單過濾后，全部進入到檢測器中，利用儀器和軟件來分出其中的光譜。如測的為元素周期表中相鄰的兩個元素，會因光譜重疊而產生測量誤差。能量色散型儀器最大的優點是不破壞被測的材料或產品，也不需要專業人員操作，缺點是對鉻和溴是總量測定（一般不影響使用，因為很多情況可以判定，如測鉻總量超標，常可知是不是六價鉻超標，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標就不合格）。

波長色散X熒光光譜儀的波長法是因其激發出的熒光足夠強，進到儀器中用來分析的光譜是單一元素（“過濾”了不需測的元素），不含其它元素的光譜，所以測量數據很準確。這種儀器的靈敏度比能量色散型高一個數量級，也就是說，所測的數據并不存在“灰色地域”，不存在測定后還需拿到檢測機構復檢。其缺點是，波長法需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準確。所以，用在材料廠最適合。