X熒光光譜儀的工作原理我們在以下做簡單的闡述：
X熒光光譜儀主要是有激發源（X射線管）和探測系統兩大部分構成。其實通過X射線管產生入射X射線（一次性X射線）來激發被測樣品。被激發樣品中的元素便會放射出二次X射線（即X熒光），不同元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特征和波長特征，探測系統則通過測量這些不同元素所放射出的X熒光的能量、數量或者波長，通過X熒光光譜儀的分析系統將所收集的信息轉換成樣品中各元素的種類以及含量來進行定性或者定量分析。元素的原子受到高能輻射激發而引起內層電子的躍遷，同時發射出具有一定特殊性波長的X射線，因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎。
X射線熒光的強度與相應元素的含量有一定的關系，據此我們可以對檢測元素進行定量分析。我們在用X射線照射被測樣品時，測樣可以被激發出各種波長的X射線熒光，我們需要把混合的X射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的X射線的強度，以進行定性和定量分析，據此原理我們使用的儀器叫X熒光光譜儀。
X熒光光譜儀又可分為：波長色散型和能量色散型以及WDX波長色散型三種。但市面上多為手持XRF和臺式EDXRF。

臺式X熒光光譜儀的優缺點：
優點：
1.分析速度快。一般2~5分鐘即可測定樣品中的待測元素。
2.可進行無損檢測。在檢測過程中可進行非接觸性檢測，不會接觸被測物品表面，所以不會引起被測物表面的化學狀態變化，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可進行反復檢測，重現性好。
3.不受被檢物形態限制。小熒光光譜儀非接觸性的檢測方式可以檢測固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質甚至對于氣體也可分析（氣體密封在容器內）。
缺點：
a） 無法進行絕對分析，做定量分析時仍需標樣輔助；
b） 對檢測輕元素的靈敏度要低一些；
c）容易受相互元素干擾和疊加峰影響；
臺式X熒光光譜儀的優應用領域：
X射線用于元素分析，是一種新的分析技術，但在經過二十多年的探索以后，現在已完全成熟，X熒光光譜儀也被廣泛應用于航空，環保，冶金、地質、有色、建材、商檢、衛生、教學、化學、環境和生物學等等各個領域，X熒光光譜儀現已成為各個領域早為常見的檢測儀器。