要知道，在使用光電直讀光譜儀的過程中，分析數據之間往往會存在一定的誤差，那么這些誤差是如何產生的呢?那么我們如何才能在使用過程中避免這些誤差呢？
一、光電直讀光譜儀產生誤差的主要原因：
1、氬氣不純：當氬氣中含有氧和水蒸汽時，使激發斑點變壞。如果氬氣管道與電極架有污染物排不出去，或有濁漏時，分析結果變差。
2、試樣要求表面平整，當試樣放在電極架上時，不能有漏氣現象。如有漏氣，激發試樣的聲音不正常。激發斑點變白。
3、分析樣品與控制標樣的磨紋粗細要一致，不可有交叉紋，磨樣用力不要過大，而且用力要均勻，要力求操作一致，用力過大，容易造成試料表面氧化。
4、對高鎳鉻鋼磨樣時，要使用新砂輪片磨樣。磨紋操作更加要求嚴格。
5、試樣不能有偏析、裂紋、氣孔等缺陷，試料要有一定代表性。
6、W電極的頂尖應當具有一定角度使光軸不得偏離中心。放電間隙應當保持不變，否則聚焦在分光儀的譜線強度會改變。重復放電以后，W電極會長尖，改變間隙放電距離。激發產生的金屬蒸汽會污染激發。所以必須激發一次后就要用刷子清理電極。
7、透鏡內表面用來保持真空，常常受到來自真空泵油蒸汽的污染：外表面受到分析時產生金屬蒸汽的附著。使透過率明顯的降低，對≤200nm的碳、硫、磷譜線的透過率很顯著降低，工作曲線的斜率降低，所以聚光鏡要進行定期清理。
8、真空度不夠會降低分析靈敏度，特別是≤200nm波長更明顯，為此要求真空度達到5X10-2mm／Hg i．出射狹縫的位置變化受溫度的影響最大，因此保持分光室內的恒溫系統32C±0．1C很重要還要求室內保持溫度一致，使出射狹縫很難偏離。
9、電源電壓變化容易引起激發單元的放電電壓的改變，電源電壓要求10%以內。
10、溫度和濕度的變化。室內溫度的增加會增加光電倍增管的暗電流、降低信／噪比。濕度大容易產生高壓元件的漏電、放電現象，使分析結果產生不穩定。
二、光電直讀光譜儀分析誤差的解決方法
1、選擇最佳的室內溫度條件、濕度條件和最好的氬氣純度。
2、選擇予沖洗、予燃、積分時間。
3、選擇光源的放電參數。
4、輔助電極的加工和清理。
5、日常的標準化工作。標準樣品工作。
6、最后的測光精度。